元兴智能的工艺解决方案应用于碳化硅、氮化镓、磷化铟、砷化镓、硅、蓝宝石等脆硬材料的减薄、研磨、抛光和平坦化制程。
咨询热线：
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设备型号 |
YSD-36单面CMP |
YSD-50单面CMP |
YSD-59单面CMP |
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4轴上抛盘 |
尺寸（mm） |
Ø360 |
Ø485 |
Ø590 |
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上抛盘材质 |
SUS410 |
SUS410 |
SUS410 |
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上抛盘转速(rpm) |
1~72 （可选80） |
1~72 （可选80） |
1~52 （可选80） |
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驱动电机(kw) |
0.55 |
0.75 |
0.75 |
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下抛盘 |
尺寸（mm） |
O.DØ914×I.DØ200mm |
O.DØ1276×I.DØ310 |
O.DØ1500×I.DØ320 |
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材质 |
SUS410 |
SUS410 |
SUS410 |
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下盘转速(rpm) |
1~80 |
1~78.5 （可选80） |
1~58 （可选80） |
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主电机（kw) |
11 |
22 |
37 |
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抛光液桶容量 |
30L |
50L（可选200L） |
50L（可选200L） |
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设备电源 |
AC380V, 3P , 50/60Hz |
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压缩空气 |
5kgf/cm2(Oil less) |
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设备尺寸（mm） |
1190(W)×2230(L)×2500(H) |
1630(W)×2500(L)×2700(H) |
2500(W)×4120(L)×3000(H) |
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设备重量（Kg) |
3,700 |
8,500 |
10,000 |
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主要功能 |
坚固焊接和铸铁机架 4轴上抛头独立电机强驱动
4轴锁紧气缸多段式加压系统 下抛盘无极变速系统，进口电机和减速机
下抛盘水冷系统 CMP抛光液供给系统，独立冰机冷却
抛光液流量自动控制系统 预留陶瓷盘自动传送机器人(BTR) 联动接口 |
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选配功能 |
上抛盘水冷系统 自动抛光垫刷洗装置 200L 可调节抛光液浓度及pH值功能抛光液冷却、循环系统 |
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