设备型号

YDL-16B5双面研磨机

YDC-16B5双面抛光机

设备尺寸（mm）

2374(W)*2011(L)*2878(H)

2374(W)*2011(L)*2878(H)

设备重量（kg)

6,500

6,500

上下盘尺寸及材质

Ø1140*Ø396*t60,QT600 开槽20~30mm

Ø1150*Ø386*t50, SUS410

游星轮

5张，PCD Ø423.32*Z200 DP12

5张，PCD Ø425*Z85

上抛盘转速

1~20rpm, 4kw

1~35rpm, 7.5kw

下抛盘转速

1~28rpm, 5.5kw

1~60rpm, 11kw

太阳齿转速

1~17rpm, 1.5kw

1~30rpm, 2.2kw

内齿圈转速

1~13rpm, 2.2kw

1~25rpm, 4kw

驱动方式

4电机

4电机

供应电源

380V 3P 50/60Hz

压缩空气

5kgf/cm2

主要功能

4组进口电机+减速机独立驱动
下盘高精度流体动压驱动主轴系统
SMC低摩擦气缸
SMC气动元件+精密称重传感器+比例阀精确控制压力
上抛盘磁性感应开关安锁紧装置
三菱电机可编程控制器PLC和变频器
大尺寸触摸屏，多套多段工艺设置，双面研磨预设修盘模式
内齿圈手动和自动升降
抛光液循环供给系统，双面CMP抛光液带独立冷却功能

选配功能

油压浮起下定盘
上下盘水冷

可旋转立柱

PVC防护罩

抛光液流量自动控制

抛光盘温度传感

设备型号

YDL-22B5双面研磨机

YDC-22B5双面抛光机

设备尺寸（mm）

2780(W)*2400(L)*3000(H)

2780(W)*2400(L)*3000(H)

设备重量 (kg)

10,000

10,000

上下盘尺寸及材质

Ø1446*Ø498*t60,QT600,开槽20~30mm

Ø1456*Ø488*t90, SUS410

游星轮

5张，PCD Ø552*Z184 M3

5张，PCD Ø552*Z184 M3

上抛盘转速

1~35rpm, 15kw

1~35rpm, 15kw

下抛盘转速

1~60rpm, 15kw

1~60rpm, 15kw

太阳齿转速

1~30rpm, 5.5kw

1~30rpm, 5.5kw

内齿圈转速

1~30rpm, 5.5kw

1~30rpm, 5.5kw

驱动方式

4电机

4电机

供应电源

380V 3P 50/60Hz

压缩空气

5kgf/cm2

主要功能

4组进口电机+减速机独立驱动
下盘高精度流体动压驱动主轴系统
SMC低摩擦气缸
SMC气动元件+精密称重传感器+比例阀精确控制压力
上抛盘磁性感应开关安锁紧装置
三菱电机可编程控制器PLC和变频器
大尺寸触摸屏，多套多段工艺设置，双面研磨预设修盘模式
内齿圈手动和自动升降
抛光液循环供给系统，双面CMP抛光液带独立冷却功能

选配功能

油压浮起下定盘
上下盘水冷

可旋转立柱

PVC防护罩

抛光液流量自动控制

抛光盘温度传感