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YAB-50/59 自动上蜡机

元兴智能提供贴蜡制程解决方案,衬底完成双面研磨抛光或砂轮减薄后,利用蜡粘贴在陶瓷盘上, 进行DMP或CMP单面抛光,适用2英寸至8英寸衬底,该设备具有陶瓷盘自动上载和卸载功能,均匀控制晶片蜡层厚度偏差<2㎛。

咨询热线:

186-2627-2870

设备参数

设备型号

YAB-50 自动上蜡机

YAB-59自动上蜡机

陶瓷盘规格(mm)

Ø360 Ø485

Ø485 Ø590

适用晶片尺寸

4~8英寸

陶瓷盘贴片数量

Ø485 66英寸

Ø590 58英寸

贴蜡型号

SKYLIUQUID ABR-4016

贴蜡厚度

<2

每片最快贴蜡时间

30

设备电源

380V 3P 50/60Hz

压缩空气

5kgf / cm2 ( Oil less )

PCW

5-20L/min,0.1-0.3MPa

设备尺寸(mm)

2800(W)×2200(L)×2,300(H)

设备重量

2,000kg

主要功能

陶瓷盘和晶片自动加载

自动排列晶片系统

液体蜡自动旋转涂布和烘烤

陶瓷盘预热、陶瓷盘和晶片自动冷却

SMC气动元件,精准气囊加压贴蜡

三菱电机PLC控制系统

选配功能

自动在线测厚


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