元兴智能提供贴蜡制程解决方案,衬底完成双面研磨抛光或砂轮减薄后,利用蜡粘贴在陶瓷盘上, 进行DMP或CMP单面抛光,适用2英寸至8英寸衬底,该设备具有陶瓷盘自动上载和卸载功能,均匀控制晶片蜡层厚度偏差<2㎛。
咨询热线:
设备型号 |
YAB-50 自动上蜡机 |
YAB-59自动上蜡机 |
陶瓷盘规格(mm) |
Ø360 或 Ø485 |
Ø485 或 Ø590 |
适用晶片尺寸 |
4~8英寸 |
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陶瓷盘贴片数量 |
Ø485, 6片6英寸 |
Ø590, 5片8英寸 |
贴蜡型号 |
SKYLIUQUID ABR-4016 |
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贴蜡厚度 |
<2㎛ |
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每片最快贴蜡时间 |
30秒 |
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设备电源 |
380V 3P 50/60Hz |
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压缩空气 |
5kgf / cm2 ( Oil less ) |
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PCW |
5-20L/min,0.1-0.3MPa |
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设备尺寸(mm) |
2800(W)×2200(L)×2,300(H) |
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设备重量 |
2,000kg |
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主要功能 |
陶瓷盘和晶片自动加载 自动排列晶片系统 液体蜡自动旋转涂布和烘烤 陶瓷盘预热、陶瓷盘和晶片自动冷却 SMC气动元件,精准气囊加压贴蜡 三菱电机PLC控制系统 |
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选配功能 |
自动在线测厚 |
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