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YSD-36/50/59单面抛光机

元兴智能的工艺解决方案应用于碳化硅、氮化镓、磷化铟、砷化镓、硅、蓝宝石等脆硬材料的减薄、研磨、抛光和平坦化制程。

咨询热线:

186-2627-2870

设备参数

设备型号

YSD-36单面铜抛

YSD-50单面铜抛

YSD-59单面铜抛

4轴上抛盘

尺寸(mm)

Ø360

Ø485

Ø590

上抛盘材质

SUS410

SUS410

SUS410

调整环尺寸(mm)

O.DØ395×I.DØ361

O.DØ585×I.DØ486×T60

O.DØ690×I.DØ591×T60

上抛盘转速(rpm)

1~72 (可选80)

1~72 (可选80)

1~52 (可选80)

驱动电机(kw)

0.55

0.75

0.75

下抛

尺寸(mm)

O.DØ900×I.DØ210

O.DØ1276×I.DØ315

O.DØ1460×I.DØ360

材质

纯铜盘或合成锡盘

纯铜或复合锡盘

纯铜或复合锡盘

下盘转速(rpm)

1~80

1~78.5 (可选80)

1~58 (可选80)

主电机(kw)

11

18.5

30

自动修盘及重复开槽公差

≤±3㎛

≤±5㎛

≤±5㎛

设备电源

AC380V, 3P , 50/60Hz

压缩空气

5kgf/cm2(Oil less)

设备尺寸(mm)

1190(W)×2230(L)×2500(H)

1630(W)×2500(L)×2700(H)

1800(W)×2800(L)×3000(H)

设备重量(Kg)

3,700

8,500

10,000

主要功能

坚固焊接和铸铁机架

4轴上抛头独立电机强驱动

4轴锁紧气缸多段式加压系统
高精度主轴系统

抛盘无极变速系统,进口电机和减速机

下抛盘水冷系统
钻石抛光液供给系统(蠕动泵或喷嘴可选)
红外温度读取系统(可开环或闭环控制)
高精度自动修盘及重复开槽系统
4轴压盘单独控制系统(手动和气动破真空功能)
陶瓷盘自动定位

预留陶瓷盘自动传送机器人(BTR) 联动接口

选配功能

上抛盘水冷系统
上抛盘称重传感器,精准控制压力


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