设备型号

YAD-50自动下蜡机

YAD-59自动下蜡机

陶瓷盘规格(mm)

 Ø360 或 Ø485

Ø485 或 Ø590

适用晶片尺寸

4~8英寸

每片最快下片时间

60秒

设备电源

380V 3P 50/60Hz 

压缩空气

5kgf / cm2 ( Oil less )

PCW

5-20L/min,0.1-0.3MPa

设备尺寸(mm)

2800(W)×2200(L)×2,300(H)

设备重量

2,000kg

主要功能

陶瓷盘自动加载和下载功能

陶瓷盘自动加热和冷却

去蜡水和DI水喷淋

自动排列系统，晶片自动对准Cassette

SMC气动元件，衬底从陶瓷盘上安全剥离

三菱电机PLC控制系统