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减薄机

  • 适用于碳化硅、氮化镓、蓝宝石、砷化镓、磷化铟等晶圆材料快速减薄
  • 垂直单轴减薄，1 个 chuck table，单片式，单独进行粗磨或精磨
  • 最大支持 Ø200mm ( 8”)
  • 自动预对准，自动测厚
  • 自动真空吸附进行砂轮减薄，最小减薄到80㎛厚度
  • 2000# 或 8000#  高寿命陶瓷结合剂砂轮可选
  • 高刚性、低振动、转速波动小的主轴，缓进和快进速度可调节
  • 目标厚度自动修正补偿算法
  • 大尺寸工控屏幕操作便捷

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